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產(chǎn)品中心爐式合成設(shè)備管式爐單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
| 品牌 | 科冪儀器 | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | 10℃/min |
|---|---|---|---|
| 加熱方式 | 電阻絲 | 最大功率 | 3kW |
| 控溫精度 | ±1℃ | 最高溫度 | 1150℃ |
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 管式爐 |
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長(zhǎng)溫度更低。
型號(hào)：TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計(jì)溫度：1150℃（短期）
額定溫度：1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸：Φ80*220mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度：220mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：80mm
加熱元件：優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲
額定功率：3KW
供氣系統(tǒng)：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射頻電源：
①射頻功率：5-500W；
②射頻頻率：13.56MHz；
③匹配方式：自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng)：雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
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服務(wù)電話：
0551-62921227
合肥市經(jīng)開區(qū)雙龍路與望客路交口科冪園區(qū)
17333007727@163.com
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